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EFEM

晶圆传输


特征
1699406847913470.png通过选配2台Aligner可以达到高Throughput 
1699406847913470.png真空吸附式取放片和边缘夹持式取放片（可选）
1699406847913470.png可兼容200/300mm （可选）
1699406847913470.pngOHT、Stocker可对应



选配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngOCR
1699406847913470.pngIonizer  
1699406847913470.pngAutoteaching
1699406847913470.pngTeaching pendant
1699406847913470.pngChemical Filter
1699406847913470.png可对应Barcode Reader、 RF-ID Reader


EFEM
SPECIFICATIONS

规格表0808更新.jpg

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