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Load Port

晶圆传输


特征
1699406847913470.png可对应标准FOUP 和 Auto Door FOSB  
1699406847913470.png独创的开门系统和精密的动作控制，实现高洁净度性能



选配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngInfo pad pin 和 Lockout pin
1699406847913470.png外部I/O对应
1699406847913470.png采用TCP/IP通信
1699406847913470.png指示灯可定制
1699406847913470.png200mm/300mm对应
1699406847913470.png可对应Barcode Reader、 RF-ID Reader









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SPECIFICATIONS

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