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SORTER

晶圆传输

采用直驱伺服电机的洁净机械手、Aligner，实现高Thoughtput。Loadpor可在Frame的前后和两侧增加各种Unit。可以和OHT和Stocker直接对接。

	兼容200mm/300mm Wafer
	多种取放片方式可选
	可读取Wafer上、下面ID
	OHT、Stocker可对应
	可选配边缘检测功能

SORTER

SPECIFICATIONS

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为独特需求，量身定制，确保每次都是完美匹配。

为独特需求量身定制
确保每次都是完美匹配